Kỹ thuật hiển vi âm học là một kĩ thuật hiển vi sử dụng sóng siêu âm ở tần số vô cùng lớn. Kỹ thuật hiển vi âm học là kĩ thuật không phá hủy mẫu thiết bị và có thể sử dụng cho hầu hết các vật liệu rắn để tạo ra các hình ảnh ở bên trong của vật liệu, bao gồm các sai hỏng như nứt gãy, tách lớp hoặc lỗ rỗng.
Các loại hiển vi âm học
Trong nửa thế kỷ kể từ những thí nghiệm đầu tiên trực tiếp dẫn đến sự phát triển của kỹ thuật hiển vi âm học, có ít nhất ba phương pháp hiển vi âm học khác nhau đã được phát triển. Đó là quét hiển vi âm học (SAM), quét đồng tiêu hiển vi âm học (CSAM), và quét hiển vi âm học kiểu C (C-SAM).. Bởi vì phần lớn kỹ thuật hiển vi âm học sử dụng ngày nay là các thiết bị dạng C-SAM, bài viết này sẽ bị giới hạn xung quanh các thiết bị này.
Tính chất của siêu âm trong các vật liệu
Siêu âm được định nghĩa là bất kỳ âm thanh nào có tần số trên 20 kHz, đó là khoảng tần số cao nhất có thể được phát hiện bởi tai người. Tuy nhiên, kỹ thuật hiển vi âm học phát ra sóng siêu âm từ 5 MHz đến hơn 400 MHz do đó có thể đạt được độ phân giải kích thước ở mức micromet. Sóng siêu âm khi xâm nhập vào mẫu vật liệu sẽ bị tán xạ, hấp thụ hoặc phản xạ bởi các vật liệu bên trong hoặc bởi chính mẫu vật liệu đó. Những hành vi này là tương tự với hành vi của ánh sáng. Lượng sóng siêu âm bị phản xạ lại từ một thực thể vật chất bên trong, hoặc (trong một vài ứng dụng khác) di chuyển qua toàn bộ độ dày của mẫu vật liệu, thì được dùng để tạo ra hình ảnh bên trong vật liệu.
Các mẫu vật liệu và sự chuẩn bị
Không có yêu cầu đặc biệt nào cho các mẫu vật liệu được sử dụng để tạo ảnh bằng sóng siêu âm, nhưng chúng nên chịu được nước hay một chất lỏng khác bởi sóng siêu âm có tần số cực lớn thì không truyền được qua không khí. Để tạo ảnh, mẫu vật liệu có thể được nhúng chìm hoàn toàn trong môi trường nước hoặc được quét bởi một dòng nước hẹp (sóng siêu âm sẽ đi vào trong vật liệu thông qua dòng nước này). Ngoài ra, rượu và các loại chất lỏng khác cũng có thể được dùng miễn là chúng không làm bẩn mẫu vật liệu. Mẫu vật liệu thường có ít nhật một mặt phẳng để nó có thể được quét, mặc dù các mẫu hình trụ và hình cầu cũng có thể quét được nếu có thiết bị đúng. Trong phần dưới, mẫu vật liệu được miêu tả như là một linh kiện điện tử tích hợp được đóng gói bằng plastic.
Tần số siêu âm
Tần số của sóng hiển vi âm học thường từ 10 MHz tới 400 MHz hoặc lớn hơn.
Hình ảnh của một linh kiện IC được đóng gói plastic phía dưới sử dụng đầu dò 30 MHz bởi vì tần số này cung cấp độ phân giải đủ tốt cho lớp vật liệu bên trong cần quét.
Quá trình quét
Đầu dò sóng siêu âm quét phía trên mặt của mẫu vật liệu. Vài ngàn xung sóng siêu âm sẽ thâm nhập vào mẫu vật liệu trong một giây. Mỗi xung này sẽ bị tán xạ hoặc hấp thụ nhiều lần tùy vào độ đồng nhất của mẫu vật liệu. Ở biên của 2 vật liệu khác nhau, một tỉ lệ của xung sẽ bị phản xạ trở lại đầu dò, đầu dò sẽ nhận tín hiện và độ lớn phản xạ được ghi lại.
Hình phía bên phải là hình ảnh siêu âm của một thiết bị IC được đóng gói plastic, sóng siêu âm xâm nhập vào bên trong của mold compound (vật liệu plastic), và bị phản xạ ở:
Mặt tiếp xúc giữa lớp mold compound phủ ngoài và mặt phẳng phía trên của con silicon die.
Mặt tiếp xúc giữa lớp mold compound phủ ngoài và mặt phẳng phía trên của paddle (substrate)
Mặt tiếp xúc giữa lớp mold compound phủ ngoài và lớp tách (màu đỏ) nằm ở phía trên của paddle.
Mặt tiếp xúc giữa lớp mold phủ ngoài và mặt ngoài của lead frame
Lượng xung bị phản xạ được quyết định bởi âm trở Z của từng vật liệu ở mặt tiếp xúc. Âm trở của một vật liệu bằng mật độ khối nhân với tốc độ mà sóng siêu âm di chuyển trong vật liệu. Khi một xung siêu âm tới mặt tiếp xúc, mức năng lượng phản xạ từ mặt tiếp xúc đó được tính theo công thức:
với R là tỉ lệ phản xạ, và z1 và z2 là âm trở của hai vật liệu ở mặt tiếp xúc, tương tự như chỉ số chiết suất của sự truyền ánh sáng
Nếu cả hai vật liệu đều là chất rắn, mức độ phản xạ chỉ ở mức vừa phải, và một lượng lớn của xung sẽ đi sâu hơn vào mẫu vật liệu. Nếu một trong hai vật liệu là thể khí ví dụ như không khí - gây ra bởi sự tách lớp, đứt gãy hoặc lỗ rỗng,mức độ phản xạ là gần 100%, biên độ phản xạ sẽ rất lớn, và không có một phần năng lượng nào của xung có thể thâm nhập sâu hơn vào mẫu vật liệu.
Chọn lớp tạo ảnh từ tín hiệu trả về
Một xung của đầu dò có thể mất nano giây hoặc micro giây để thâm nhập vào bên trong vật liệu và phản xạ trở lại. Nếu mẫu vật liệu có vài lớp tiếp xúc bên trong thì tín hiệu trả về sẽ đến đầu dò ở các thời điểm khác nhau. Kĩ thuật tạo ảnh bằng hiển vi âm học thường không sử dụng tất cả các tín hiệu mà xung trả về. Thay vào đó, một cửa sổ thời gian được tạo ra để chỉ nhận một vài tín hiệu trả về tương ứng với một vài mặt tiếp xúc cần tạo ảnh. Quá trình này được gọi là "gating" hay chọn lớp tạo ảnh
Trong hình trên, lớp tạo ảnh bao gồm silicon die, die paddle và lead frame.
Tập tin:Sonoscanart4.jpg
Nếu tiếp tục quét mặt trên của mẫu vật liệu sau đó chọn lớp cần tạo ảnh chỉ là lớp plastic phía trên die. Hình ảnh tạo ra như hình bên trên. Nó thể hiện cấu trúc của các hạt phân tử của mold compound, cũng như các dấu hình tròn nằm ở phía mặt trên của linh kiện. Dấu chấm tròn nhỏ màu trắng là lỗ rỗng (khí không thể thoát ra được trong quá trình đúc plastic).
Tập tin:Sonoscanart5.jpg
Sau đó thay đổi lớp cần tạo ảnh chỉ bao gồm chiều sâu của lớp mold phủ dưới chân die và die paddle. Con die, die paddle và các điểm ở trên hoặc ở dưới đều bị bỏ qua. Trong hình ảnh kết quả từ hiển vi âm học, khu vực màu đỏ là các lỗ rỗng (sai hỏng) của lớp mold phủ dưới.
Tập tin:Sonoscanart6.jpg
Cuối cùng, linh kiện IC được lật lại và được quét từ mặt dưới. Tín hiệu cần tạo ảnh là lớp tiếp xúc giữa lớp mold compound phủ sau và mặt sau của die paddle. Các dấu chấm nhỏ màu đen trong ảnh là các lỗ rỗng (khí bị mắc kẹt) trong mold compound.
Các loại hình ảnh
Kỹ thuật hiển vi âm học có thể tạo ra nhiều loại ảnh khác nhau như 2D, 3D, ảnh mặt cắt...
Phạm vi của các ứng dụng
Kỹ thuật hiển vi âm học được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất thiết bị điện tử, phân tích độ bền và phân tích sai hỏng
Gần đây Kỹ thuật hiển vi âm học được dùng để chẩn đoán các lớp sơn của các bức ảnh nghệ thuật và các đối tượng khác.
nhỏ|Hình minh họa [[quang học trường gần, với sự nhiễu xạ của ánh phát phát ra từ sợi dò của **kính hiển vi quang học quét trường gần**, cho thấy bước sóng ánh sáng và
nhỏ|phải|Một động cơ ô tô được tô màu**Kỹ thuật cơ khí** là một ngành Khoa học kỹ thuật, ứng dụng các nguyên lý vật lý, kỹ thuật và khoa học vật liệu để thiết kế,
nhỏ| [[Ổ đĩa cứng|Ổ cứng lưu trữ thông tin ở dạng nhị phân và do đó được coi là một loại phương tiện kỹ thuật số vật lý. ]] **Phương tiện truyền thông kỹ thuật
thumb|Máy hơi nước là đầu tàu chính của cuộc [[cách mạng công nghiệp, đánh dấu tầm quan trọng của kỹ thuật trong lịch sử hiện đại.]] **Kỹ thuật**, hay là **ngành kỹ sư**, là việc
Một **công dân kỹ thuật số** () là người có kỹ năng sử dụng công nghệ thông tin để giao tiếp với người khác, tham gia vào các hoạt động xã hội, kinh doanh và
Trong tài chính, **phân tích kỹ thuật** là một phương pháp phân tích chứng khoán dự báo hướng của giá cả thông qua việc nghiên cứu các dữ liệu thị trường quá khứ, chủ yếu
nhỏ|Một loài côn trùng được quan sát với một kính hiển vi kỹ thuật số. **Kính hiển vi kỹ thuật số** là một biến thể của một kính hiển vi quang học truyền thống có
**Trình độ kỹ thuật số** (hay còn gọi _trình độ số_, _năng lực công nghệ số_ **)** đề cập đến khả năng sử dụng thông tin và công nghệ kỹ thuật số để tìm kiếm,
right|thumb|Ultrasound representation of [[Urinary bladder (black butterfly-like shape) a hyperplastic prostate. An example of engineering science và medical science working together.]] thumb|Example of an approximately 40,000 probe spotted oligo [[microarray with enlarged inset to show
**Kính hiển vi điện tử truyền qua** (tiếng Anh: _transmission electron microscopy_, viết tắt: TEM) là một thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao
**Người nhập cư kỹ thuật số (Digital Immigrant)** là một khái niệm được đưa ra bởi Marc Prensky để tạo sự khác biệt với người bản địa kỹ thuật số. Prensky đề cập đến những
[[Nhà hát Lớn Hà Nội, công trình phải được xây dựng theo các nguyên tắc âm học kiến trúc]] **Âm học kiến trúc** là bộ môn khoa học vật lý nghiên cứu tác động của
**Địa chất kĩ thuật** là ứng dụng của Địa chất học - là môn khoa học nghiên cứu về các vật chất rắn và lỏng cấu tạo nên Trái Đất, đúng ra là nghiên cứu
**Truyền hình kỹ thuật số** (tiếng Anh: **Digital television** - **DTV**) là một hệ thống viễn thông phát và nhận tín hiệu hình ảnh và âm thanh bằng các tín hiệu kỹ thuật số, trái
**Cách mạng kỹ thuật quân sự** là bước nhảy vọt về chất trong quá trình phát triển các phương tiện kỹ thuật quân sự nhờ ứng dụng các thành tựu mới của khoa học và
**Kỹ thuật sáng tạo** là phương pháp khuyến khích hành động sáng tạo, dù là trong nghệ thuật hoặc khoa học. Họ tập trung vào nhiều khía cạnh của sự sáng tạo, bao gồm các
nhỏ|Các kỹ sư điện thiết kế các hệ thống điện phức tạp... upright|Vi mạch điện tử, với công nghệ mới chỉ còn 1 nano mét cho một cổng logic **Kỹ thuật điện** là một lĩnh
Thuật ngữ **Người bản địa kỹ thuật số** được đề cập lần đầu tiên trong bài nghiên cứu của Marc Prensky với tựa đề "Digital Natives, Digital Immigrants" (Người bản địa kỹ thuật số và
**Trí thông minh kỹ thuật số** (tiếng Anh: _Digital Intelligence_) là tổng hợp của các khả năng xã hội, cảm xúc và nhận thức, cho phép các cá nhân đối mặt với những thách thức
**Kỹ thuật điện ảnh** hay **kỹ thuật quay phim** (tiếng Pháp: _cinématographie_ - xuất phát từ tiếng Hy Lạp _κίνημα_ - kínēma có nghĩa là _chuyển động_, còn _γράφειν_ - _gráphein_ có nghĩa là _ghi
**Đài Truyền hình Kỹ thuật số VTC**, còn gọi là **Đài Truyền hình Kỹ thuật số Việt Nam**, gọi tắt là **VTC** hay **Đài VTC**, là một đài truyền hình thành viên của Đài
**Bảo tàng Nghệ thuật Hiện đại** (tiếng Anh: **Museum of Modern Art**, viết tắt là **MoMA**) là một bảo tàng nghệ thuật tại Midtown Manhattan, Thành phố New York, nằm trên 53rd Street, giữa Fifth
**Muzeum Sztuki Nowoczesnej w Warszawie** là một bảo tàng ở Warsaw, Ba Lan. Bảo tàng được thành lập vào năm 2005. Cho đến khi xây dựng bảo tàng mới, Bảo tàng Nghệ thuật Hiện đại
**Vải địa kỹ thuật** là tấm vải có tính thấm, khi sử dụng lót trong đất nó có khả năng phân cách, lọc, bảo vệ, gia cường và thoát nước. Loại vải này thường được
Trong môi trường công nghiệp và hạ tầng kỹ thuật, hệ sàn công tác không chỉ là nơi thao tác đơn thuần – mà còn đóng vai trò kết cấu chịu lực, nền lắp thiết
**Âm học** là một nhánh của vật lý học, nghiên cứu về sự lan truyền của sóng âm thanh trong các loại môi trường và sự tác động qua lại của nó với vật chất.
thumb|right|Quang học nghiên cứu hiện tượng [[tán sắc của ánh sáng.]] **Quang học** là một ngành của vật lý học nghiên cứu các tính chất và hoạt động của ánh sáng, bao gồm tương tác
**Kỹ sư** (hay **_Kĩ sư_** - theo tiếng lóng; **_Bác vật_** - từ cũ ở miền Nam), là danh từ chỉ học vị của người đã qua đào tạo chuyên môn về khoa học ứng
**Công nghệ** đóng một vai trò quan trọng trong việc xác định kết quả của chiến tranh thế giới thứ II. Phần lớn của nó đã được phát triển trong những năm giữa cuộc chiến
**Độc lực** là phương thức để phát động quá trình nhiễm trùng và gây bệnh của vi khuẩn. ## Các yếu tố bám dính Bước quan trọng đầu tiên trong quá trình tương tác giữa
**Kỹ thuật tạo lệnh** hoặc **kỹ thuật ra lệnh** (prompt engineering) là quá trình cấu trúc một **văn bản đầu vào** cho AI tạo sinh giải thích và diễn giải. Một **văn bản đầu vào**
**Chuyển động học** là một nhánh của cơ học cổ điển, có mục đích mô tả chuyển động của các điểm, vật thể và hệ vật trong khi bỏ qua nguyên nhân dẫn đến các
Nước chiếm 70% bề mặt của Trái Đất **Thủy văn học** (tiếng Anh: _hydrology_, gốc Hy Lạp: Yδρoλoγια, Yδωρ+Λoγos, _hydrologia_, nghĩa là "khoa học về nước") là ngành khoa học nghiên cứu về sự vận
Các công cụ **Quản lý quyền kỹ thuật số** (**DRM**) hoặc **các biện pháp bảo vệ công nghệ** (**TPM**) là một tập hợp các công nghệ kiểm soát truy cập để hạn chế việc sử
**Viện phát triển khoa học và công nghệ quốc phòng** (viết tắt **AMST** theo tên tiếng Anh của đơn vị là _Academy of Military Science and Technology_) là một viện nghiên cứu khoa học đa
Nhân viên kỹ thuật là một người kỹ thuật là người làm chuyên môn chuyên ngành kỹ thuật nào đó, một người am hiểu về các tính năng sản phẩm một cách chi tiết, nên
Nhân viên kỹ thuật là một người kỹ thuật là người làm chuyên môn chuyên ngành kỹ thuật nào đó, một người am hiểu về các tính năng sản phẩm một cách chi tiết, nên
Nhân viên kỹ thuật là một người kỹ thuật là người làm chuyên môn chuyên ngành kỹ thuật nào đó, một người am hiểu về các tính năng sản phẩm một cách chi tiết, nên
Nhân viên kỹ thuật là một người kỹ thuật là người làm chuyên môn chuyên ngành kỹ thuật nào đó, một người am hiểu về các tính năng sản phẩm một cách chi tiết, nên
[[Tập tin:Ra and dec demo animation small.gif|phải| Xích kinh và **xích vĩ** khi nhìn từ trong thiên cầu. Hướng quy chiếu của hệ chỉ theo điểm xuân phân, kinh độ của điểm nút lên của
Raphitox là chế phẩm sinh học mới, có cấu trúc hình kim siêu nhỏ (vi kim), được tinh chế bằng , chiết xuất các từ thảo dược thiên nhiên của viện nghiên cứu SR Biotek,
**Trường Đại học Kiến trúc Thành phố Hồ Chí Minh** (_, thường được gọi tắt là **UAH**)_ là trường đại học chuyên ngành, giữ vai trò tiên phong trong lĩnh vực đào tạo và nghiên
Thuật ngữ **nhiệt động học** (hoặc **nhiệt động lực học**) có hai nghĩa: # Khoa học về nhiệt và các động cơ nhiệt (**nhiệt động học cổ điển**) # Khoa học về các hệ thống
**Trường Đại học Dầu khí Việt Nam** (tiếng Anh: _PetroVietnam University_, viết tắt: _PVU_) là một trường đại học đào tạo chuyên ngành dầu khí tại Việt Nam, do Tập đoàn Dầu khí Việt Nam
**Dữ liệu số** (Digital data), trong lý thuyết thông tin và hệ thống thông tin, là thông tin được biểu diễn dưới dạng chuỗi các ký hiệu rời rạc, mỗi ký hiệu có thể nhận
Nhã Khanh Ohui- Tuyển Cộng Tác Viên bán hàng mỹ phẩm Ohui Whoo Su:m37.- Đại Lý phân phối chính hãng LG Vina- SẢN PHẨM CÓ TEM CHÍNH HÃNG.- Cam kết hàng chính hãng 100%.- Sản
thế=Một Võ sư Võ cổ truyền Việt Nam.|nhỏ|Một [[Võ sư Võ cổ truyền Việt Nam.|225x225px]] **Võ thuật** là hệ thống được mã hóa và truyền thống chiến đấu được thực hành vì một số lý
Toán học trong nghệ thuật: Bản khắc trên tấm đồng mang tên _[[Melencolia I_ (1514) của Albrecht Dürer. Những yếu tố liên quan đến toán học bao gồm com-pa đại diện cho hình học, hình