Quang khắc hay photolithography là kỹ thuật sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và linh kiện với hình dạng và kích thước xác định bằng cách sử dụng bức xạ ánh sáng làm biến đổi các chất cảm quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo. Phương pháp này được sử dụng phổ biến trong công nghiệp bán dẫn và vi điện tử, nhưng không cho phép tạo các chi tiết nhỏ do hạn chế của nhiễu xạ ánh sáng, nên được gọi là quang khắc micro (micro lithography). Một số sách giáo khoa ở Việt Nam còn dịch thuật ngữ photolithography là quang bản thạch.
Kỹ thuật quang khắc
Các phương pháp tạo chi tiết trong quang khắc: kỹ thuật liff-off (trái), kỹ thuật ăn mòn (phải)
Quang khắc là tập hợp các quá trình quang hóa nhằm thu được các phần tử trên bề mặt của đế có hình dạng và kích thước xác định. Có nghĩa là quang khắc sử dụng các phản ứng quang hóa để tạo hình.
Bề mặt của đế sau khi xử lý bề mặt được phủ một hợp chất hữu cơ gọi là chất cản quang (photoresist), có tính chất nhạy quang (tức là tính chất bị thay đổi khi chiếu các bức xạ thích hợp), đồng thời lại bền trong các môi trường kiềm hay axit. Cản quang có vai trò bảo vệ các chi tiết của vật liệu khỏi bị ăn mòn dưới các tác dụng của ăn mòn hoặc tạo ra các khe rãnh có hình dạng của các chi tiết cần chế tạo. Cản quang thường được phủ lên bề mặt tấm bằng kỹ thuật quay phủ (spin-coating).
Cản quang được phân làm hai loại
- Cản quang dương: Là cản quang có tính chất biến đổi sau khi ánh sáng chiếu vào sẽ bị hòa tan trong các dung dịch tráng rửa.
- Cản quang âm: Là cản quang có tính chất biến đổi sau khi ánh sáng chiếu vào thì không bị hòa tan trong các dung dịch tráng rửa.
(Xem chi tiết trong bài Quang khắc chùm điện tử).
Nguyên lý hệ quang khắc
Nguyên lý hệ quang khắc
Một hệ quang khắc bao gồm một nguồn phát tia tử ngoại, chùm tia tử ngoại này được khuếch đại rồi sau đó chiếu qua một mặt nạ (photomask). Mặt nạ là một tấm chắn sáng được in trên đó các chi tiết cần tạo (che sáng) để che không cho ánh sáng chiếu vào vùng cảm quang, tạo ra hình ảnh của chi tiết cần tạo trên cảm quang biến đổi. Sau khi chiếu qua mặt nạ, bóng của chùm sáng sẽ có hình dạng của chi tiết cần tạo, sau đó nó được hội tụ trên bề mặt phiến đã phủ cảm quang nhờ một hệ thấu kính hội tụ.
Ứng dụng của quang khắc
Quang khắc là kỹ thuật đã được phát triển từ đầu thế kỷ 20, và được sử dụng rộng rãi nhất trong công nghiệp bán dẫn để chế tạo các vi mạch điện tử trên các phiến Si. Ngoài ra, quang khắc được sử dụng trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu để chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ, chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS). Hạn chế của quang khắc là do ánh sáng bị nhiễu xạ nên không thể hội tụ chùm sáng xuống kích cỡ quá nhỏ, vì thế nên không thể chế tạo các chi tiết có kích thước nano (độ phân giải của thiết bị quang khắc tốt nhất là 50 nm), do đó khi chế tạo các chi tiết nhỏ cấp nanomet, người ta phải thay bằng công nghệ quang khắc chùm điện tử (electron beam lithography).
👁️
0 | 🔗 | 💖 | ✨ | 🌍 | ⌚
**Quang khắc** hay **photolithography** là kỹ thuật sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và linh kiện với hình dạng và
Sơ đồ nguyên lý thiết bị EBL **Electron beam lithography** (EBL) là thuật ngữ tiếng Anh của công nghệ tạo các chi tiết trên bề mặt (các phiến Si...) có kích thước và hình dạng
Bề mặt hoạt động của một đĩa quang Mô hình nguyên lý đọc dữ liệu ở đĩa quang: Tia lade từ nguồn phát chiếu qua lăng kính đến bề mặt đĩa, nếu gặp điểm sáng
thế=Một vầng hào quang 22° quanh Mặt Trời, được nhìn thấy trước trại cơ sở Annapurna, Annapurna, Nepal.|nhỏ|347x347px|Một vầng hào quang 22° quanh Mặt Trời, được nhìn thấy trước trại cơ sở Annapurna, [[Annapurna, Nepal.]]
nhỏ|phải|Hematit: Loại quặng sắt chính trong các mỏ của Brasil. nhỏ|phải|Kho dự trữ quặng sắt vê viên này sẽ được sử dụng trong sản xuất [[thép.]] **Quặng sắt** là các loại đá và khoáng vật
phải|nhỏ|Bắc cực quang phải|nhỏ|Nam cực quang nhỏ|Bắc cực quang chiếu sáng trên [[hồ Bear (Alaska)|hồ Bear]] nhỏ|Nam cực quang tại châu Nam Cực Trong thiên văn học, **cực quang** là một hiện tượng quang học
thumb|[[Sao biến quang Cepheid L Carinae]] nhỏ|300x300px|So sánh hình ảnh [[VLT-SPHERE của Betelgeuse vào tháng 1 năm 2019 và tháng 12 năm 2019, cho thấy sự thay đổi về độ sáng và hình dạng. Betelgeuse
liên_kết=https://en.wikipedia.org/wiki/File:Fiber_optic_illuminated.jpg|nhỏ|Cáp quang [[TOSLINK có vỏ bọc trong suốt. Những loại cáp này chủ yếu được sử dụng để kết nối âm thanh kỹ thuật số giữa các thiết bị.]] **Cáp sợi quang**, còn được gọi
Lân quang ứng dụng trên một đồ vật trang trí Đồ vật trang trí đang phát sáng về đêm. **Lân quang** hay gọi dạ quang là một dạng phát quang, trong đó các phân tử
thumb|Một hào quang ngoại tiếp (vòng ngoài) cùng với một [[hào quang 22° (vòng trong).]] thumb|Một hào quang ngoại tiếp (phía trên) cùng với một [[cầu vồng lửa (phía dưới).]] **Hào quang ngoại tiếp** _(Circumscribed
thumb|Một hào quang 22° quanh [[Mặt Trăng.]] **Hào quang 22°** là một hiện tượng quang học thuộc về các quầng sáng tinh thể băng, dưới dạng một vòng tròn có bán kính góc khoảng 22°
nhỏ|Một vầng vinh quang (glory) bao quanh [[Bóng (hình ảnh)|bóng của một chiếc máy bay. Vị trí của trung tâm vầng vinh quang cho thấy người quan sát đang ở vị trí phía trước cánh
thumb|right|Quang học nghiên cứu hiện tượng [[tán sắc của ánh sáng.]] **Quang học** là một ngành của vật lý học nghiên cứu các tính chất và hoạt động của ánh sáng, bao gồm tương tác
**Quảng cáo trực tuyến**, còn được gọi là **tiếp thị trực tuyến**, quảng cáo Internet, **quảng cáo** **kỹ thuật số** hoặc **quảng cáo web**, là một hình thức tiếp thị và quảng cáo sử dụng
**Phim quảng cáo** (hoặc còn gọi hẹp là **Quảng cáo truyền hình**, theo thuật ngữ tiếng Anh là _television advertisement_ hay _television commercial_ -viết tắt _TVad_ hay _TVC_- hoặc thường được gọi đơn giản là
**Quảng cáo nhắm đối tượng** (Tiếng Anh: _Targeted Advertising_) là một hình thức quảng cáo trực tuyến (online marketing), hướng đến một đối tượng khán giả có các đặc điểm cụ thể. Các đặc điểm
**Quảng cáo lập trình** () là một quy trình tự động trong việc mua và bán các vị trí quảng cáo theo thời gian thực trên nền tảng kỹ thuật số và là một phần
**Quảng cáo video** bao gồm **các quảng cáo** hiển thị trực tuyến có video bên trong chúng. Như thông thường, quảng cáo video đề cập đến quảng cáo xảy ra trước, trong hoặc sau một
**Quảng cáo bám đuổi** (_tiếng Anh:_ _Retargeting ads_), cũng thường được biết đến như Nhắm chọn lại (retargeting) hay Tiếp thị trở lại (remarketing), là một quá trình tiếp thị mà doanh nghiệp sẽ đặt
**Quảng Châu** (chữ Hán giản thể: 广州, phồn thể: 廣州, pinyin: _Guǎngzhōu_, Wade-Giles: _Kuang-chou_, việt phanh: _Gwong2zau1_, Yale: _Gwóngjaū_) là thủ phủ và là thành phố đông dân nhất của tỉnh Quảng Đông ở miền
**Tiếng Quảng Châu** (phồn thể: 廣州話, giản thể: 广州话, phiên âm Yale: _Gwóngjāu wá,_ Hán-Việt: _Quảng Châu thoại_) hay **tiếng tỉnh Quảng Đông** là một phương ngữ tiếng Trung được nói tại Quảng Châu và
**Quảng trường Concorde** (, phiên âm tiếng Việt là **Quảng trường Công-coóc**) - _tiếng Việt:_ **_Quảng trường Hòa Hợp_** là một trong những quảng trường nổi tiếng của Pháp tại Paris, nằm ngay bên bờ
**Quảng Đông** () là một tỉnh phía Nam Trung Quốc, nằm ven bờ Biển Đông của Cộng hòa Nhân dân Trung Hoa. Quảng Đông là tỉnh đông nhất về số dân, đứng đầu về kinh
**Bảo tàng Quảng Ninh** là bảo tàng công lập đầu ngành của tỉnh Quảng Ninh. Bảo tàng Quảng Ninh là đơn vị sự nghiệp trực thuộc Sở Văn hóa và Thể thao tỉnh Quảng Ninh;
**Tiếng Quảng Châu Hồng Kông** (香港粵語, Hương Cảng Việt ngữ) là một phương ngữ tiếng Quảng Châu thuộc ngữ hệ Hán-Tạng thường được nói ở Hồng Kông, cũng như Ma Cao và một số khu
**Quảng Trị** là tỉnh ven biển gần cực nam của vùng Bắc Trung Bộ, miền Trung của Việt Nam. Theo dữ liệu Sáp nhập tỉnh, thành Việt Nam 2025, tỉnh Quảng Trị mới là sáp
**Quảng Bình** là một tỉnh ven biển cũ nằm ở phía nam vùng Bắc Trung Bộ, miền Trung của Việt Nam. Tỉnh lỵ của tỉnh là thành phố Đồng Hới. Nơi đây cũng là nơi
**_Xuân quang xạ tiết_** (; ) là một bộ phim điện ảnh Hồng Kông thuộc thể loại tâm lý – lãng mạn – chính kịch ra mắt vào năm 1997 do Vương Gia Vệ làm
thumb|Một [[hào quang 22° quanh Mặt Trăng ở Atherton, CA.]] **Hiện tượng quang học** là bất kỳ sự kiện nào quan sát được là kết quả của sự tương tác giữa ánh sáng khả kiến
nhỏ|242x242px|Con [[đom đóm, _Photinus pyralis,_ đang bay và phát sáng]] **Phát quang sinh học** là sự tạo và phát xạ ánh sáng bởi một sinh vật sống. Đây là một dạng ánh sáng hóa học.
nhỏ|Quả cầu năm 2012 khi đã thả, nhìn từ trên cao xuống nhỏ **Quả cầu Quảng trường Thời Đại** là một quả cầu thời gian đặt tại Quảng trường Thời Đại ở Thành phố New
phải|nhỏ|Kính hiển vi thạch học, là một loại [[kính hiển vi quang học được trang bị ống kính phân cực chéo, một ống kính nội soi, và bộ điều tiết (phổ biến là tấm vật
Lá cây: nơi thực hiện quá trình quang hợp ở thực vật. **Quang tổng hợp** hay gọi tắt là **quang hợp** là quá trình thu nhận và chuyển hóa năng lượng ánh sáng Mặt trời
**Quảng Ninh** là một tỉnh ven biển thuộc vùng Đông Bắc Bộ Việt Nam. Theo quy hoạch phát triển kinh tế, Quảng Ninh vừa thuộc vùng kinh tế trọng điểm phía bắc, và vừa thuộc
**Tạ Quang Bạo** (sinh năm 1941, quê quán làng Bình Lâm, xã Hà Lâm, huyện Hà Trung, tỉnh Thanh Hóa) là nhà điêu khắc Việt Nam, được tặng Giải thưởng Nhà nước về Văn học
**Tiếng Quảng Đông** (), còn gọi là **Việt ngữ** (), là một nhánh chính của tiếng Trung được nói tại miền Nam Trung Quốc, đặc biệt là ở Quảng Đông, Quảng Tây, Hồng Kông và
**Chặn quảng cáo** hay **lọc quảng cáo** là một loại phần mềm có thể loại bỏ hoặc thay đổi nội dung quảng cáo từ một trang web, website, hoặc ứng dụng di động. Trình chặn
nhỏ|250x250px|Cảnh vật ban đêm của quảng trường Kim Tử Kinh.**Quảng trường Kim Tử Kinh** (chữ Anh: _Golden Bauhinia Square_) ở vào cánh mới của Trung tâm Hội nghị và Triển lãm Hồng Kông phía tây
nhỏ|300x300px|Tượng điêu khắc [[Sen hồng|Hoa sen thời đại hưng thịnh ở quảng trường Kim Liên Hoa, Áo Môn, Trung Quốc.|thế=]] **Quảng trường Kim Liên Hoa** (chữ Anh : _Lotus Square_ hoặc _Golden Lotus Square_, chữ
**Quang học** là một lĩnh vực vật lý học, chuyên nghiên cứu về ánh sáng, cụ thể la nguồn gốc và cách truyền ánh sáng, cách thức nó biến đổi cùng vời những hiện tượng
nhỏ|Quảng trường chính Krakow, Ba Lan **Quảng trường chính** ( ) của Phố cổ Kraków, Lesser Ba Lan, là không gian đô thị chính nằm ở trung tâm thành phố. Quảng trường này có từ
Lễ đăng quang của Nữ vuơng Elizabeth II của Vuơng quốc Liên hiệp Anh và Bắc Ireland và các vuơng quốc khác thuộc khối Thịnh vượng chung được diễn ra ngày 02 tháng 6 năm
**Quảng cáo biểu ngữ** hoặc **Biểu ngữ trực tuyến** (_tiếng Anh: banner ad hay web banner_) là một hình thức quảng cáo trên trang mạng trực tuyến (World Wide Web) được tạo ra bởi một
**Quảng Ngãi** là một tỉnh ven biển nằm ở phía bắc vùng Nam Trung Bộ, miền Trung Việt Nam. Trung tâm hành chính của tỉnh là phường Cẩm Thành, cách Thành phố Hồ Chí Minh
**Trận Thành cổ Quảng Trị** () là một trận chiến giữa Quân Giải phóng miền Nam Việt Nam được sự hỗ trợ về hậu cần của Quân đội nhân dân Việt Nam với Quân đội
thumb|upright=1.5|alt=see caption|Trên một toa tàu điện ngầm Berlin U-Bahn, một quảng cáo thu hút sự chú ý với nội dung: "Bạn có biết... Wikipedia còn có nhiều dự án chị em khác?". Kèm theo đó
**Trần Quang Diệu** (chữ Hán: 陳光耀; 1746 – 1802) là một trong _Tây Sơn thất hổ tướng_ của nhà Tây Sơn trong lịch sử Việt Nam. Ông cùng với vợ là nữ tướng Bùi Thị
**Quảng trường Hoàng cung Patan** nằm ở trung tâm thành phố Lalitpur, Nepal. Đây là một trong ba quảng trường Hoàng cung nằm tại Thung lũng Kathmandu, tất cả đều là một phần của Di
thumb|1: Thấu kính có quang sai màu nhiều hơn.
2: Thấu kính có quang sai màu ít hơn. Trong quang học, **quang sai** là một đặc tính của các hệ quang học ̣(quang hệ), chẳng hạn
**Tuyên Quang** là thành phố tỉnh lỵ cũ của tỉnh Tuyên Quang, Việt Nam. ## Địa lý Thành phố Tuyên Quang nằm ở phía nam tỉnh Tuyên Quang, cách Hà Nội khoảng 165 km theo quốc